半導(dǎo)體的關(guān)鍵性制程均需于干凈無塵的環(huán)境內(nèi)進(jìn)行，半導(dǎo)體設(shè)備零件需要在高溫、真空且具有腐蝕性氣體的環(huán)境下使用。精密陶瓷材料在復(fù)雜的物理和化學(xué)環(huán)境下能保持高度的穩(wěn)定性。
我公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體陶瓷零部件，選用大于99.5%純度氧化鋁陶瓷，經(jīng)冷等靜壓成型、高溫?zé)Y(jié)、精密加工和拋光而成。具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕、低膨脹系數(shù)、絕緣等性能，可以很好的滿足半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)零件的苛刻的要求。
